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干法刻蚀机

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类别 子类别 库存号 名称 料号 规格/描述
LAM   Rainbow 4400 　 下腔体挡边带孔陶瓷环 716-011570-001 ORIFICE FILLER, W/C, CERAMIC
LAM   Rainbow 4400 　 聚焦环（铝环） 715-011638-044 Rev E FOCUS RING, 
LAM   Rainbow 4400 　 聚焦环（陶瓷） 716-011638-044 Rev E FOCUS RING, 
LAM   Rainbow 4400 　 Edge ring边缘保护环(铝环） 715-030136-044 Rev E  R, EDGE 6" ESC, MJR FL
LAM   Rainbow 4400 　 Edge ring边缘保护环（陶瓷） 716-030136-001 R, EDGE 6" ESC, MJR FL FOCUS RING
LAM   Rainbow 4400 　 上电极陶瓷护罩 716-011540-001  RING FACE-UPPER ELECTRODE
LAM   Rainbow 4400 　 上电极 715-011531-009 Rev F ELECTRODE, ALUM.ANODIZED
LAM   Rainbow 4400 　 gap 固定环下方陶瓷护罩， 716-011057-002 Rev. B Ring, Filler, (Non-Clamp)
LAM   Rainbow 4400 　 上气体分配盘 715-011912-083 PLATE, BAFFLE, UPPER, 8.3
LAM   Rainbow 4400 　 下气体分配盘 715-011913-083 PLATE, BAFFLE, LOWER, 8.3
LAM   Rainbow 4400 　 聚焦环（陶瓷）（组件） 716-011830-066 Rev E Ring, Focus ESC
LAM   Rainbow 4400 　 终点检测石英视窗 716-011009-001 LAM Window
LAM   Rainbow 4400 　 4420静电吸盘 718-094523-261 ASSY, CAP, ELCTD, ESC, 6"
LAM   Rainbow 4400 　 上电极水盘6“ 715-028486-002 PLATE,UPPER SEAL,12 BOLT,6"
LAM   Rainbow 4400 　 ESC下电极水盘 715-140166-003 ELECTRODE, BOTTOM,CER ESC,OXD
LAM   Rainbow 4400 　 铁氟龙环 715-011560-001 RING SHROUD
LAM   Rainbow 4400 　 上电极固定陶瓷 716-028028-004 REV B RING ELECTRODE CLAMP 6"12BOLT
LAM   Rainbow 4400 　 （上电级聚焦环）/压环棕环 713-028487-001 REV 01 RING CONFINEMNT (VESPEL)
LAM   Rainbow 4400 　 teflon固定陶瓷环 716-140069-002 REV A PLT, UPR INSULTR, 6" ESC
LAM   Rainbow 4400 　 下电极 ESC EDGE RING 716-140163-001 REV C RING, HOT EDGE, 15deg, ESC, STD 6"
LAM   Rainbow 4400 　 下电极edge陶瓷下铝环 853-210621-306  REV B ASSY, RNG, CPLG, LVLG, ESC, 6",SEMI
LAM   Rainbow 4400 　 底座固定陶瓷环，6寸， 716-011623-001 REV E RING CLAMP LOWER ELECTRODE
LAM   Rainbow 4400 　 下电极陶瓷聚焦环 716-140068-001 REV A RING, FOCUS, ESC, 6"
LAM   Rainbow 4400 　 腔体内部下陶瓷环 716-028123-002 REV  E  RING FILLER CERAMIC
LAM   Rainbow 4400 　 底座绝缘陶瓷环 716-011624-001 C  RING, INSULR, LWR ELCTD, RDCD HGT
LAM   Rainbow 4400 　 上腔陶瓷环固定螺丝两头 715-011925-001 BOLT, CAPPED, CLAMP RETAINING
LAM   Rainbow 4400 　 上腔陶瓷环固定螺帽 713-011926-001 CAP, BOLT, CLAMP RETAINING
LAM   Rainbow 4400 　 上腔陶瓷环内环套 713-028485-001 BOLT ELECTRODE RING CLAMP KELF
LAM   Rainbow 4400 　 （上电级聚焦环）/压环棕环螺丝 720-090943-010 SCR. FLATHEAD, 10-32 KEL-F
LAM   Rainbow 4400 　 特氟龙石英视窗 716-011533-001 WINDOW, QUARTZ
LAM   Rainbow 4400 　 硅上电极 839-011906-001 REV A ELECTRODE, SILICON, 6",
LAM   Rainbow 4400 　 分流盘固定螺丝 796-028633-010 SCR, FL HD, SLTD, VNT, 6-32x5/8 AL
LAM   Rainbow 4400 　 上层分流板 715-028626-001 upper baffle
LAM   Rainbow 4400 　 下层分流板 715-028627-002 lower baffle
LAM   Rainbow 4400 　 4520静电吸盘小平边 839-440562-306  ASSY, CAP, ELCTD, ESC, 6"
LAM   Rainbow 4400 　 4520静电吸盘大平边 839-440462-306  ASSY, CAP, ELCTD, ESC, 6"
LAM   Rainbow 4400 　 载入腔盖板 715-011203-001 Cover, 90 Degree Loadlock
LAM   Rainbow 4400 　 载出腔盖板 715-011205-001 Cover, 180 degree Loadlock
LAM   Rainbow 4400 　 硅环 716-140139-211 RING, HOT EDGE, HI WALL, ESC 8"
LAM   Rainbow 4400 　 一个设备3根lift 790-006301-001 SPIRAL BACKUP 1/4 ID
LAM   Rainbow 4400 　 一个设备2根lift 734-009767-001 O-RING 1/4 ID X 1/16 C/S EPR
LAM   Rainbow 4400 　 一个设备1根lift 715-006310-001 SPACER
LAM   Rainbow 4400 　 石英观察玻璃 716-031052-001 WDO, QTZ, HTD ENDPOINT
LAM   Rainbow 4400 　 主腔石英盖板 716-028454-012 DISK, QUARTZ
LAM   Rainbow 4400 　 9400静电吸盘（平边 44.7mm） 718-094523-261 ASSY, CAP, ELCTD, ESC, 6"（flat 44.7mm）
LAM   Rainbow 4400 　 聚焦环（陶瓷） 716-011638-044 Rev E FOCUS RING, 
LAM   Rainbow 4400 　 esc铝环 715-330984-001 R, BOT GAS INJ FXD GAP ESC
LAM   Rainbow 4400 　 石英玻璃密封圈 734-007461-001 O-RING 5.25 X 5 7/16 X3/32
LAM   Rainbow 4400 　 侧门板屏蔽线 742-093181-002 GSKT, RF, BeCu O-RING
LAM   Rainbow 4400 　 gas ESC金属环 715-330135-001 R, BOT GAS INJ, ESC
LAM   Rainbow 4400 　 固定帽子 715-330092-006 CAP, GAS RING, TRI-HEAD
LAM   Rainbow 4400 　 固定螺母 713-331129-002 TOOL, NOSE, TRI-HEAD
LAM   Rainbow 4400 　 　 716-330504-061 RING, FOC, 6", GD RING, JEIDA, ESC
LAM   Rainbow 4400 　 　 716-330121-001 WDO, RF SHPD CER, FXD GAPN
LAM   Rainbow 4400 　 　 716-031453-002 RING, FLR, B.A.C., JD, NF
LAM   Rainbow 4400 　 ESC电容板 810-017086-018 ASSY, PCB, ESC PWR SPLY CONFIG
LAM   Rainbow 4400 　 　 810-370182-001 ASSY, PCB, DTRBD, PWR SPLY, ESC
LAM   Rainbow 4400 　 外门气缸 770-009005-001 CYLINDER, 1 5/8 BORE x 2 3/4
LAM   Rainbow 4400 　 上腔陶瓷环 716-330122-002 PL, Top, CER F/G
LAM   Rainbow 4400 　 9600静电吸盘 718-094756-061 Assembly, Electrod, Lower, ESC, 6", MJR FL
LAM   Rainbow 4400 　 终点检测石英视窗 716-011009-001 LAM Window
LAM   Rainbow 4400 　 工艺MFC段气体阀组 853-170174-100 Assembly, Weldment, Primary Shutoff Gas
LAM   Rainbow 4400 　 APM腔传送气缸 770-009442-001 Slide, Air, Rodless
LAM   Rainbow 4400 　 　 713-028230-001 SLEEVE,INSULATOR, BANANA JACK
LAM   Rainbow 4400 　 载片盘 715-013718-006 Chuck,Spinner,6'',4600
LAM   Rainbow 4400 　 手臂 715-023950-001 Shuttle arm
LAM   Rainbow 4400 　 　 715-032760-006 CLR,Pinnrd,ADJ,Lifter,6''Stripper
LAM   Rainbow 4400 　 DSQ去胶腔手臂 715-032757-006 PADDLE, HTD, WFR, STPR 6"
LAM   Rainbow 4400 　 传送皮带 750-007747-772 Belt. Timing. 453 Groove
LAM   Rainbow 4400 　 DSQ石英3件套 716-021323-002 QUARTZFUNNEL, STRIP PER
LAM   Rainbow 4400 　 DSQ石英3件套 716-011493-001 Spacer, Quartz, Module
LAM   Rainbow 4400 　 DSQ石英3件套 716-011427-001 Disk, Quartz (Mechanical Finish)
LAM   Rainbow 4400 　 DSQ盖板 715-350036-001 DSQ GAP
LAM   Rainbow 4400 　 DSQ手臂 853-347147-006 DSQ PADDLE

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